Китай назвал анекдотом слова США о «секретной» отправке 180-тонного EUV-сканера

6 162 31
Китай назвал анекдотом слова США о «секретной» отправке 180-тонного EUV-сканера

В полупроводниковой отрасли разгорелся новый скандал. Министр торговли США Говард Лютник выразил серьёзную обеспокоенность возможной «секретной» поставкой Китаю литографических систем EUV от ASML. Однако в отрасли это заявление встретило волну скепсиса и насмешек, особенно в китайском сегменте.

Дело в том, что EUV-сканер — это отнюдь не компактное устройство, чтобы его можно было «секретно» и незаметно поставить в Китай. Машина весит около 180 тонн, перевозится в качестве спецгруза и требует кропотливой установки, калибровки и постоянной сервисной поддержки высокого уровня технологичности. Сам же по себе EUV-сканер представляет на сегодняшний день наиболее передовую литографическую машину для производства современных полупроводников.

Идея о «секретной» отправке такой махины без ведома США и ASML выглядит для экспертов практически анекдотичной. ASML категорически опровергла передачу Китаю каких-либо EUV-систем или специализированных компонентов для них.

Тем не менее инцидент высветил фундаментальную проблему китайской полупроводниковой отрасли. Литография остаётся одним из главных узких мест на пути к технологическому суверенитету.

В чём разница между DUV и EUV? DUV- (глубокий ультрафиолет - использует длины волн 193 нм (ArF) и 248 нм (KrF). Современные иммерсионные системы позволяют производить сложные чипы, но требуют множественных этапов экспонирования и крайне точного контроля. EUV работает с длиной волны всего 13,5 нм, что даёт значительно лучшее разрешение при меньшем числе шагов. Однако технология крайне сложна: плазменный источник света на оловянных каплях, рефлекторная оптика (зеркала вместо линз) и глобальная цепочка поставок высокого уровня.

Пока Пекин ищет обходные пути, Вашингтон продолжает усиливать давление, стремясь максимально затормозить прогресс китайской полупроводниковой индустрии.
31 комментарий
Информация
Уважаемый читатель, чтобы оставлять комментарии к публикации, необходимо авторизоваться.
  1. -16
    Сегодня, 09:14
    А если прочесть между строк ? Ведь не обязательно вести 100 тонн оборудования ,все что надо помещается во флешке, один раз ...............
    1. +9
      Сегодня, 09:24
      Цитата: APASUS
      ,все что надо помещается во флешке, один раз ...............

      С таким оборудованием так не получится, почитайте, что это за литограф )
    2. +1
      Сегодня, 09:27
      Цитата: APASUS
      все что надо помещается во флешке,

      На какой-такой флэшке? Американский министр утверждает, что вывезли не флэшку, а именно эту махину.
      1. +3
        Сегодня, 09:30
        Ну насмотрелся человек американских шпионских фильмов) Там еще когда на флешку скачиваешь "секретную технологию", она безвозвратно исчезает у прежнего хозяина) Что поделать, такие мозги у современного человека)
        1. 0
          Сегодня, 10:57
          Цитата: михаил3
          Ну насмотрелся человек американских шпионских фильмов) Там еще когда на флешку скачиваешь "секретную технологию", она безвозвратно исчезает у прежнего хозяина) Что поделать, такие мозги у современного человека)

          Вы как дети малые ,никогда не встречали обратный инжиниринг ?
    3. +4
      Сегодня, 09:29
      Цитата: APASUS
      А если прочесть между строк ? Ведь не обязательно вести 100 тонн оборудования ,все что надо помещается во флешке, один раз ...............

      Как вы думаете если вам к примеру дадут всю документацию по производству лопаток для турбин сможете ето повторить? Без нужного оборудования и материалов уверен что нет. Тоже самое и с литографами. Даром что ли ТОЛЬКО ASML делает их. Слава богу в РФ сделали свой хотя и с куда меньшими возможностями. Да и на ето угрохали как минимум пару лет и один черт знает сколько придется угрохат на следующего поколения.
      1. +2
        Сегодня, 09:49
        Как вы думаете если вам к примеру дадут всю документацию по производству
        будет как в анекдоте
        Как-то раз украли американцы у русских чертежи истребителя. Начали собирать его и получился паравоз.
        Всё конструкторы в а[ут]е.
        Позвали они своих лучших реконструкторов, умников и ботаников изучали чертежи целый год и все собирали по новому целый год, в конечном итоге получается опять паровоз.
        Они снова охренели.
        И приняли конечный итог.
        Позвали русского деда, а он собирает - получается истребитель.
        Пендoсы:
        — Как?
        Дед:
        — Дебилы, Здесь же по-русски написано "доработать напильником"

        Иосиф Виссарионович ещё говорил - кадры решают ВСЁ
      2. 0
        Сегодня, 11:00
        Цитата: nedgen
        Как вы думаете если вам к примеру дадут всю документацию по производству лопаток для турбин сможете ето повторить?

        Позвольте я вам тоже задам вопрос. Как вы думаете разрабатывать машину с 0 проще или тяжелее, когда у тебя есть чертеж готового решения ? Вспомните проект Манхеттен ,никто нам ядерную бомбу не привез .А наши атомщики ,смогли сложить в изделие , ряд отрывочных сведений
      3. 0
        Сегодня, 11:14
        Теоретически... Синхротрон можно перепрофилировать из контрольного инструмента в производственный. В стране, где из подлодки, вагонов и привода башенного орудия ваяли платформу для антен космической связи, реально сделать окошко для литографа на синхротроне.

        П.С.: Про "сложно и невозможно" в курсе. Но у тех, кто сделает, от этого глаза загораются.
    4. 0
      Сегодня, 09:43
      Индии официально продали лицензизию на производство Т-72. И наши их учили ещё! Ствол по моему до сих пор повторить не могут.
      1. 0
        Сегодня, 11:02
        Цитата: Solomon_BY
        Индии официально продали лицензизию на производство Т-72.

        С Индией наверно отдельный разговор . Там кастовая система ,родовые связи ,коррупция не меньше нашей. Там все что касаемо танцев вообще прекрасно ,но все что касаемо техники ,все очень спорно.
    5. 0
      Сегодня, 11:07
      Вы имели в виду технологическую и проектную документацию на литограф? Это на флешку поместится. Главное попробовать удачно воспроизвести технику, что очень не просто. У производителей техпроцесс отлажен и всегда находятся недокументированные тонкости настройки/наладки без которых искомый результат не получается, даже если документацию выкрасть.. Если это все есть в комплекте - удача близка.
      1. 0
        Сегодня, 11:18
        Цитата: Кмет
        Если это все есть в комплекте - удача близка.

        Заниматься отладкой технологии имея чертежи и начинать с 0 ,задачи разного порядка.
  2. +5
    Сегодня, 09:23
    Как по мне, для решения узкого места, нужно провести хорошую диверсию на ASML. Устранить физически производство и научный центр компании ASML. Так сказать лишить мир узкого места. Вырвать жало у матрасов.
    1. +2
      Сегодня, 09:32
      Это можно, я думаю. Только тогда в выигрыше будут те, у кого больше запасов уже произведенных чипов и микросхем. В сотни тысяч раз больше. У кого это, как вы думаете?)
    2. +2
      Сегодня, 09:42
      научный центр компании ASML.

      насколько я помню, оптику поставляла им Лейка
      да и остальное, кмк, конструируется по кооперации с другими...
    3. Комментарий был удален.
    4. +1
      Сегодня, 10:11
      Цитата: PROXOR
      сказать лишить мир узкого места

      Сейчас это и так происходит. Китай уже давно превосходит США и европейские страны по объемам финансирования НИОКР и инноваций. Более того, желающих светил науки уехать в Кремневую долину за гражданством США с каждым годом становится все меньше. А в Китае за счет жесткой борьбы с коррупцией эффективность НИОКР становится все больше. Более того, китайские студенты учатся практически во всех ведущих ВУЗах мира, где считают своим долгом получить всю доступную информацию по технологиям, в том числе и секретным. Там конечно их часто ловят за руку, как это было в нашей Академии ВКС в Твери. После этого просто высылали обратно в Китай без всяких санкций и претензий. И так по всему Миру.
      1. +2
        Сегодня, 10:25
        А ещё в Китае работает 75% инженеров ВСЕГО МИРА!!!! Рано или поздно количественные накопления перейдут в качественные изменения. И что уже начало происходить.
    5. +2
      Сегодня, 10:24
      Китай кажется решил этот вопрос по-другому. Где-то здесь уже была статья, что Хуавэй разработал технологию, суть которой не ползать тупо по многослойной пластине, выполняя десятки проходов с последовательным удвоением точности, с затратой кучи времени и выходом продукции с большим процентом брака. Относительно малослойные пластины делают на обычных "простеньких" китайских литографах с последующим "склеиванием" их в многослойные кристаллы.
      1. 0
        Сегодня, 10:48
        Компания Huawei перешла от закона Мура, действовавшего на протяжении пяти десятилетий, к закону масштабирования Тау для собственной разработки мобильных полупроводников.

        Следуя закону Мура, производители микросхем, такие как TSMC и Samsung, уменьшили технологический процесс до 3 нм и 2 нм, что сокращает расстояние, которое должно пройти электричество от батареи (поскольку мобильные SoC работают на элементах питания).

        Huawei выбирает совершенно другой путь – закон масштабирования Тау для разработки полупроводниковых устройств. Вместо того чтобы фокусироваться на традиционном геометрическом масштабировании (уменьшении размеров транзистора), компания концентрируется на оптимизации сигнала во времени.

        Иными словами, принцип основан на уменьшении резистивно-емкостной нагрузки при распространении сигнала — это скорее похоже на масштабирование времени. Это сокращает время, необходимое данным для прохождения по чипу, без необходимости физического уменьшения размеров на субнанометровые величины.

        За последние шесть лет компания Huawei и ее команда разработчиков полупроводниковых устройств разработали и запустили в серийное производство в общей сложности 381 чип, основанный на законе масштабирования Тау, для широкого спектра отраслей, секторов и рынков.

        Председатель правления Huawei:
        Если бы Соединенные Штаты не оказывали давления на нашу страну, наши компании и нашу промышленность, мы бы не сделали ничего подобного. Но мы также благодарны США за то, что они позволили нашей цепочке поставок в полупроводниковой промышленности по-настоящему развиваться..
    6. 0
      Сегодня, 10:25
      Да без проблем, тогда Японцы из Канон и Никон выйдут из тени. Они кстати продолжают делать свои литографы. Да там нет EUV но в целом для примитивных устройств очень даже хорошее оборудование.
      В США тоже есть фирмы которые делают "примитивные" литографы. 22 нм и толще. Но сейчас 90% всей электроники делается именно на таких толстых техпроцессах.
  3. -2
    Сегодня, 09:30
    Цитата: PROXOR
    Как по мне, для решения узкого места, нужно провести хорошую диверсию на ASML. Устранить физически производство и научный центр компании ASML. Так сказать лишить мир узкого места. Вырвать жало у матрасов.

    Учитывая, что асмл - монополист в этом, получится "вырвать жало" у всего человечества
    1. 0
      Сегодня, 09:33
      А он так и мыслит, глобально. Странно, что тяо не предложил, ну чтобы наверняка.
  4. +2
    Сегодня, 09:31
    Обогнать Китай не могут - поэтому гадят , прям как хахлы против нас.
  5. +2
    Сегодня, 09:35
    Ох уж эти сказки, ох уж эти сказочники... Китай поржал....
  6. 0
    Сегодня, 09:39
    Китай назвал анекдотом слова США о «секретной» отправке 180-тонного EUV-сканера

    насколько я помню в недалеком прошлом произошел скандал: Китай решил разобрать полученный им литограф для дальнейшего его копирования - не получилось, более того обратно собрать у них не получилось...
    и ASML - "обиделось" на них, вплоть до того, что хотела прекратить сервисное обслуживание уже поставленных литографов в Китай...
    а тут - такое...
    здесь есть какой то подтекст - о котором не сказано...
  7. +2
    Сегодня, 09:41
    Врут ,сканер отправлен через границы - по бумагам он цветной металлом. laughing Привезли украинские " Русланы " . wassat Дурдом .
  8. 0
    Сегодня, 09:53
    ASML - хорошая цель для наших ракет. На всякий случай...
  9. 0
    Сегодня, 10:23
    После того как высшее руководство Китая распорядилось пресечь коррупцию и расточительство в инвестиционном фонде второго поколения для полупроводников, компания Huawei создала в Шэньчжэне несколько новых дочерних структур, которые от лица государства взяли на себя управление самыми передовыми технологическими разработками. Среди них компания, отвечающая за координацию работ в области полупроводниковых производственных процессов (включая литографическое оборудование), называется SiCarrier (Синькайлай). Ожидается, что коммерческая поставка китайского EUV-литографа состоится примерно в конце 2026 – начале 2027 года. Huawei выбрала технологический маршрут, отличный от ASML: последняя использует источник света LPP (Laser Produced Plasma — плазма, генерируемая лазером), тогда как первая применяет LDP.

    Ниже приведены принципиальные схемы источников LPP и LDP. Оловянная плазма в качестве источника света для EUV-литографии сопряжена с двумя техническими трудностями: во-первых, требования к высокой выходной мощности, а во-вторых, проблема сопряжения с системой зеркал глубокого ультрафиолета (включая загрязнение зеркал вследствие диффузии плазмы). LPP полностью полагается на лазер для испарения оловянных капель и генерации плазмы, однако процессы генерации и поглощения лазерного излучения изначально обладают крайне низкой эффективностью преобразования энергии, поэтому такой подход не только требует колоссального энергопотребления, но и вынуждает рассеивать огромное количество тепла — это самый главный недостаток LPP (второстепенным является сложность подготовки и подачи оловянных капель). В LDP же лазер отвечает только за синхронизацию и позиционирование, а подавляющая часть энергии ионизации обеспечивается электрическим полем, что даёт более чем на порядок преимущество в эффективности преобразования энергии (кроме того, подготовка олова гораздо проще — его можно подавать напрямую с вращающегося диска). Недостаток LDP заключается в относительной сложности сопряжения с оптической системой, включая большую площадь излучения плазменного источника (из-за чего его трудно сфокусировать; с другой стороны, это означает более низкую плотность плазмы, что приводит к сужению спектральной линии излучения и её концентрации вблизи 13,5 нм, а это несколько облегчает решение проблемы дисперсии), а также весьма сложный начальный модуль фокусирующих зеркал (см. рис. ниже; трудность здесь в том, что оловянная система источника LDP имеет весьма значительный объём и изначально должна была бы сопрягаться с линзами, однако линз, пригодных для EUV-излучения 13,5 нм, физически не существует, поэтому их эффект необходимо имитировать отражающими зеркалами; судя по всему, за разработку этих оптических отражающих систем отвечает Чанчуньский институт оптики и точной механики). В своё время ASML, проводя сравнение двух технологических маршрутов, использовала в качестве критерия мощность, достигающую фотомаски после отражения и фокусировки, и поставщик, предложивший решение LDP, потерпел поражение. Однако 20 лет спустя Китай предпринимает новую попытку, и степень оптимизации практической конструкции, естественно, уже иная, поэтому и выбор маршрута оказался иным. Что же касается окончательного сравнения преимуществ и недостатков решения Huawei и решения ASML, то сейчас об этом судить пока трудно.
  10. +1
    Сегодня, 10:24
    На планете Земля есть только одна штуковина которую можно разобрать ,а собрать нельзя - пирамида Хеопса . laughing
  11. 0
    Сегодня, 11:03
    Смех смехом, но доля истины в этом анекдоте может иметь место.
    Это 180-тонная "махина" не вытесанный из горной породы и не отлитый в землю кусок цельно материала, это вертикально расположенные компоненты схемы, которые можно разобрать, вывезти, скопировать и собрать, было бы желание и финансирование.
    Тонких мест очень много, внедь это не только мехатроника, это управление контроллером процесса совокупностью компонентов, необходимая интерполяция данных, построение карт ошибок, постоянные калибровки и много много нюансов.
    Но путь осидит идущий, уверен что Китай с этим справится.
    А у нас ...
    У нас даже не добиться помощи государства на критические разработки, сидишь со своим проектом как болван и думаешь, если дать ход, то государство тебя с номом оставит.
    Тоскливо.